半导体（ semiconductor），指常温下导电性能介于导体（conductor）与绝缘体（insulator）之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。车间废气净化无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。

  半导体材料生产过程中污染气体的主要成分为：一氧化二氮(N2O)、一氧化氮 (NO)、二氧化氮(NO2)、三氧化二氮 (N2O3)、四氧化二氮(N2O4)和五氧化二氮(N2O5)、HF等。

  乙方对此项目的废气进行净化处理，包括废气处理方案、设计、施工及安装调试。

  污染气体的主要成分为：一氧化二氮(N2O)、一氧化氮 (NO)、二氧化氮(NO2)、三氧化二氮 (N2O3)、四氧化二氮(N2O4)和五氧化二氮(N2O5)、HF等。

  一氧化氮 (NO)为无色气体，分子量30.01，熔点-163.6℃，沸点-151.5℃，蒸气压101.3lkPa(-151.7℃)。溶于乙醇、二硫化碳，微溶于水和硫酸，水中溶解度4.7% (20℃)。性质不稳定，在空气中易氧化成二氧化氮 

(2NO+O2→2NO2)。一氧化氮结合血红蛋白的能力比一氧化碳还强，更容易造成人体缺氧。不过，人们也发现了它在生物学方面的独特作用。一氧化氮分子作为一种传递神经信息的信使分子 ，在使血管扩张，免疫，增强记忆力等方面有着及其重要的作用。

  二氧化氮 (NO2)在21.1℃温度时为红棕色刺鼻气体;在21.1℃以下时呈暗褐色液体。在-ll℃以下温度时为无色固体，加压液体为四氧化二氮。分子量46.01，熔点-11.2℃，沸点 21.2℃，蒸气压101.3lkPa(2l℃)，溶于碱、二硫化碳和氯仿，微溶于水。性质较稳定。二氧化氮溶于水时生成硝酸和一氧化氮。工业上利用这一原理制取硝酸。二氧化氮能使多种织物褪色，损坏多种织物和尼龙制品，对金属和非金属材料也有腐蚀作用。

  HF是由氟元素与氢元素组成的二元化合物，它是无色有刺激性气味的气体 ，是一种一元弱酸。氟化氢的水溶液称作氢氟酸。氟化氢及其水溶液均有毒性，容易使骨骼、牙齿畸形，氢氟酸可以透过皮肤被黏膜、呼吸道及肠胃道吸收。
氮氧化物可刺激肺部，使人较难抵抗感冒之类的呼吸系统疾病，呼吸系统有问题的人士如哮喘病患者，会较易受二氧化氮影响。对儿童来说，氮氧化物可能会造成肺部发育受损。研究指出长期吸入氮氧化物可能会导致肺部构造改变，但仍未可确定导致这种后果的氮氧化物含量及吸入气体时间。

  以一氧化氮和二氧化氮为主的氮氧化物是形成光化学烟雾和酸雨的一个重要原因.汽车尾气中的氮氧化物与碳氢化合物经紫外线照射发生反应形成的有毒烟雾,称为光化学烟雾.光化学烟雾具有特殊气味,刺激眼睛,伤害植物,并能使大气能见度降低.另外,氮氧化物与空气中的水反应生成的硝酸和亚硝酸是酸雨的成分.大气中的氮氧化物主要源于化石燃料的燃烧和植物体的焚烧,以及农田土壤和动物排泄物中含氮化合物的转化.
 

  车间废气净化半导体材料氮氧化物酸洗废气工艺如下：

 NOx废气的治理方法大致可以分为燃烧控制技术、炉内喷射吸收剂以及烟气脱硝技术等，按脱硝装置所处位置可分为生产过程中控制和过程后处理。工业废气中NOx的脱除技术一般采用过程后处理，又可分为干法和湿法两大类。       干法包括催化还原法、催化分解法、吸附法等。湿法包括碱吸收、还原吸收、氧化吸收和络合吸收等。与干法相比，湿法具有工艺设备简单、操作费用低廉、吸收剂种类多、适应性强等优点。从吸收液的成本考虑，可采用碱液吸收，其产生副产物NaNO2和NaNO3可以回收利用。

  碱液吸收法：碱性溶液指的是钠、钾、镁等离子的氢氧化物或弱酸盐溶液。碱液吸收法不但可将NOx去除，所得亚硝酸盐产物还可用作防腐剂、防冻剂等，具有一定的市场价值。
 
  KOH吸收液虽然反应活性相对值较高，因其价高货源少，所以使用的较少，实际广泛使用的吸收剂主要是NaOH 和Na2CO3。
 
  采用Na2CO3吸收NOx的效果不如NaOH，原因是Na2CO3的浓度降至1.5-5%时，吸收效果急剧下降，而NaOH则无此效应，另外Na2CO3吸收时产生的CO2将降低NOx在溶液中的溶解度。因此碱液中使用最多的是NaOH。
由于本项目废气处理量较大，且浓度较高，结合甲方要求，本项目采用三级喷淋填料塔对废气进行处理，每个塔采用二级喷淋，循环喷淋溶液均为NaOH和Na2S的混合液。

  其中一级塔NaOH浓度控制在4%-8%左右（主要是为了去除废气中的硝酸、氢氟酸），Na2S浓度控制在2%左右，二级塔NaOH浓度控制在2%左右，Na2S浓度控制在2%左右，三级塔NaOH浓度控制在2%左右，Na2S浓度控制在2%左右。

  具体配碱浓度还要依据实际运行情况不断调整以到达最优运行条件，液气比越大，空塔速度越低，净化效率就越高。

  废气经管道收集后进入废气处理系统，废气经管道进入一级喷淋填料塔进行处理，其主要作用是利用碱性溶液吸收HF酸性气体、硝酸气体和部分NO2气体，其中Na2S起到还原作用，提高脱氮效率，之后废气再经过二、三级喷淋填料塔处理，之后废气通过风机、排气筒达标排放。此工艺不仅处理效率高，能高效去除污染物，而且运行维护费用低。

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